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DIN 50450-3:1991-03
Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of methane impurity in H2, O2, N2, Ar and He by using a flame ionization detector (FID).
Automatische name übersetzung:
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von Methanverunreinigungen in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mit einem Flammenionisationsdetektor (FID).
NORM herausgegeben am 1.3.1991
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: DIN 50450-3:1991-03
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.3.1991
SKU: NS-203848
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Die Annotation des Normtextes DIN 50450-3:1991-03 :
Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von Methanverunreinigungen in Wasserstoff, Sauerstoff, Stickstoff, Argon und Helium mit einem Flammenionisationsdetektor (FID).
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