Die Norm DIN 51456:2013-10 1.10.2013 Ansicht

DIN 51456:2013-10

Testing of materials for semiconductor technology - Surface analysis of silicon wafers by multielement determination in aqueous analysis solutions using mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS).

Automatische name übersetzung:

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Oberflächenanalyse von Silicium-Halbleiterscheiben (Wafer) durch Multielementbestimmung in wässrigen Analysenlösungen mittels Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS).



NORM herausgegeben am 1.10.2013


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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: DIN 51456:2013-10
Ausgabedatum normen: 1.10.2013
SKU: NS-204698
Zahl der Seiten: 15
Gewicht ca.: 45 g (0.10 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN

Kategorie - ähnliche Normen:

Integrated circuits. Microelectronics

Die Annotation des Normtextes DIN 51456:2013-10 :

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Oberflächenanalyse von Silicium-Halbleiterscheiben (Wafer) durch Multielementbestimmung in wässrigen Analysenlösungen mittels Massenspektrometrie mit induktiv gekoppeltem Plasma (ICP-MS).

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