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DIN EN 62047-17:2015-12
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films.
Automatische name übersetzung:
Halbleiterbauelemente - Mikrosystemtechnik - Teil 17: Bulge -Testverfahren zur Messung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.
NORM herausgegeben am 1.12.2015
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: DIN EN 62047-17:2015-12
Ausgabedatum normen: 1.12.2015
SKU: NS-620811
Zahl der Seiten: 28
Gewicht ca.: 84 g (0.19 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Kategorie - ähnliche Normen:
Semiconductor devices in generalElectromechanical components in general
Die Annotation des Normtextes DIN EN 62047-17:2015-12 :
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.
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