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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures.
Automatische name übersetzung:
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen.
NORM herausgegeben am 1.5.2014
Bezeichnung normen: E DIN EN 62047-26:2014-05
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.5.2014
SKU: NS-292599
Zahl der Seiten: 53
Gewicht ca.: 159 g (0.35 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm (Entwurf)
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 26: Beschreibung und Messverfahren für Mikro-Rillen und Nadelstrukturen.
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Letzte Aktualisierung: 2025-09-18 (Zahl der Positionen: 2 235 301)
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