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E DIN EN 62047-30:2016-08 (Entwurf)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film.
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NORM herausgegeben am 1.8.2016
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: E DIN EN 62047-30:2016-08
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.8.2016
SKU: NS-643058
Zahl der Seiten: 34
Gewicht ca.: 102 g (0.22 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm (Entwurf)
Kategorie: Technische Normen DIN
Die Annotation des Normtextes E DIN EN 62047-30:2016-08 :
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 30: Messverfahren für Kenngrößen der elektromechanischen Energiewandlung bei piezoelektrischen MEMS-Dünnschichten.
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