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E DIN IEC 60204-33:2006-11 (Entwurf)
VDE 0113-33. Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment.
Automatische name übersetzung:
VDE 0113-33. Sicherheit von Maschinen - Elektrische Ausrüstung von Maschinen - Teil 33 : Anforderungen an die Halbleiterfertigungsausrüstung.
NORM herausgegeben am 1.11.2006
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: E DIN IEC 60204-33:2006-11
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.11.2006
SKU: NS-604570
Zahl der Seiten: 175
Gewicht ca.: 556 g (1.23 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm (Entwurf)
Kategorie: Technische Normen DIN
Die Annotation des Normtextes E DIN IEC 60204-33:2006-11 :
VDE 0113-33. Sicherheit von Maschinen - Elektrische Ausrüstungen von Maschinen - Teil 33: Anforderungen an Fertigungsausrüstungen für Halbleiter.
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