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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micropillar compression test for MEMS materials.
Automatische name übersetzung:
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.
NORM herausgegeben am 1.5.2010
Bezeichnung normen: E DIN IEC 62047-10:2010-05
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.5.2010
SKU: NS-303794
Zahl der Seiten: 18
Gewicht ca.: 54 g (0.12 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm (Entwurf)
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik.
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