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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: A method for fatigue testing thin film materials using the resonant vibration of a MEMS structure.
Automatische name übersetzung:
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen.
NORM herausgegeben am 1.5.2010
Bezeichnung normen: E DIN IEC 62047-12:2010-05
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.5.2010
SKU: NS-303796
Zahl der Seiten: 46
Gewicht ca.: 138 g (0.30 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm (Entwurf)
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen.
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Letzte Aktualisierung: 2025-07-07 (Zahl der Positionen: 2 207 474)
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