UNGÜLTIG E DIN IEC 62047-12:2010-05 1.5.2010 Ansicht

E DIN IEC 62047-12:2010-05 (Entwurf)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: A method for fatigue testing thin film materials using the resonant vibration of a MEMS structure.

Automatische name übersetzung:

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen.



NORM herausgegeben am 1.5.2010


Sprache
Realisierung
Zugänglichkeitin 7 Werktagen
Preis108.10 ohne MWS
108.10

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: E DIN IEC 62047-12:2010-05
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.5.2010
SKU: NS-303796
Zahl der Seiten: 46
Gewicht ca.: 138 g (0.30 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm (Entwurf)
Kategorie: Technische Normen DIN

Die Annotation des Normtextes E DIN IEC 62047-12:2010-05 :

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 12: Verfahren zur Prüfung der Ermüdungsfestigkeit von Dünnschichtwerkstoffen unter Verwendung der Resonanzschwingungen bei MEMS-Strukturen.

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