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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS.
Automatische name übersetzung:
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Bauteile der Mikrosystemtechnik.
NORM herausgegeben am 1.9.2006
Bezeichnung normen: E DIN IEC 62047-4:2006-09
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.9.2006
SKU: NS-303800
Zahl der Seiten: 53
Gewicht ca.: 159 g (0.35 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm (Entwurf)
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 4: Fachgrundspezifikation für Bauteile der Mikrosystemtechnik.
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Letzte Aktualisierung: 2025-07-07 (Zahl der Positionen: 2 207 474)
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