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Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process
Automatische name übersetzung:
Silizium-basierten MEMS-Fertigungstechnologie - Spezifikation für KOH Ätzprozess
NORM herausgegeben am 11.5.2012
Bezeichnung normen: GB/T 28275-2012
Ausgabedatum normen: 11.5.2012
SKU: NS-363997
Land: Chinesische technische Norm
Kategorie: Technische Normen GB
Letzte Aktualisierung: 2026-08-28 (Zahl der Positionen: 2 298 625)
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