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GB/T 29507-2013
Test method for measuring flatness, thickness and total thickness variation on silicon wafers by automated non-contact scanning
Automatische name übersetzung:
Prüfverfahren für die Messung von Ebenheit, Dicke und Gesamtdickenvariation auf Silizium-Wafern durch automatisierte berührungslose Abtastung
NORM herausgegeben am 9.5.2013
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: GB/T 29507-2013
Ausgabedatum normen: 9.5.2013
SKU: NS-365295
Land: Chinesische technische Norm
Kategorie: Technische Normen GB
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