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IEC 62047-30-ed.1.0
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film
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NORM herausgegeben am 15.9.2017
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: IEC 62047-30-ed.1.0
Ausgabedatum normen: 15.9.2017
SKU: NS-797015
Zahl der Seiten: 20
Gewicht ca.: 60 g (0.13 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen IEC
Kategorie - ähnliche Normen:
Other semiconductor devicesPiezoelectric and dielectric devices
Die Annotation des Normtextes IEC 62047-30-ed.1.0 :
IEC 62047-30:2017(E) specifies measuring methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric thin film used for micro sensors and micro actuators, and its reporting schema to determine the characteristic parameters for consumer, industry or any other applications of piezoelectric devices. This document applies to piezoelectric thin films fabricated by MEMS process
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