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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 34: Test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device on wafer
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NORM herausgegeben am 5.4.2019
Bezeichnung normen: IEC 62047-34-ed.1.0
Ausgabedatum normen: 5.4.2019
SKU: NS-945688
Zahl der Seiten: 16
Gewicht ca.: 48 g (0.11 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen IEC
Other semiconductor devicesPiezoelectric and dielectric devices
IEC 62047-34:2019 (E) describes test conditions and test methods of electric character, static performances and thermal performances for MEMS pressure-sensitive devices. This document applies to test for both open and closed loop piezoresistive MEMS pressure devices on wafer.
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