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IEC 62047-44-ed.1.0
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 44: Test methods for dynamic performances of MEMS resonant electric-field-sensitive devices
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NORM herausgegeben am 22.2.2024
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: IEC 62047-44-ed.1.0
Ausgabedatum normen: 22.2.2024
SKU: NS-1168221
Zahl der Seiten: 19
Gewicht ca.: 57 g (0.13 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen IEC
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Die Annotation des Normtextes IEC 62047-44-ed.1.0 :
IEC 62047-44:2024 describes terminology, definitions and test methods that are used to evaluate and determine the dynamic performance of MEMS (Micro-Electromechanical Systems) resonant electric-field-sensitive devices. It also specifies sample requirements and test equipment for dynamic performances of MEMS resonant electric-field-sensitive devices. The statements made in this document are also applicable to MEMS resonant electric-field-sensitive devices with various driving mechanisms such as electrostatic, electrothermal, electromagnetic, piezoelectric, etc.
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