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IEC 62047-49-ed.1.0
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 49: Temperature and humidity test methods for piezoelectric MEMS cantilevers
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NORM herausgegeben am 25.11.2025
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: IEC 62047-49-ed.1.0
Ausgabedatum normen: 25.11.2025
SKU: NS-1249233
Zahl der Seiten: 8
Gewicht ca.: 24 g (0.05 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen IEC
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Die Annotation des Normtextes IEC 62047-49-ed.1.0 :
IEC 62047-49:2025 specifies reliability test methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric thin film on microcantilever, which is typical structure of micro sensors and micro actuators. In order to estimate the stability of the piezoelectric coefficient of the piezoelectric thin films with microscale structures in the operating conditions, this document reports the schema to determine the characteristic parameters for consumer, industry or any other applications of piezoelectric MEMS devices. This document applies to piezoelectric thin films on microcantilever fabricated by MEMS process.
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