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Nanomanufacturing - Key control characteristics - Part 6-23: Graphene-related products - Sheet resistance, carrier density, carrier mobility: Hall bar method
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NORM herausgegeben am 5.11.2025
Bezeichnung normen: IEC/TS 62607-6-23-ed.1.0
Ausgabedatum normen: 5.11.2025
SKU: NS-1247222
Zahl der Seiten: 20
Gewicht ca.: 60 g (0.13 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen IEC
IEC TS 62607-6-23:2025, which is a Technical Specification, establishes a standardized method to determine the key control characteristic (KCC): • carrier mobility and sheet resistance for graphene thin films by: • Hall measurement. The carrier mobility is derived by the product of the Hall coefficient and the electric conductivity and the sheet resistance is derived by the product of the longitudinal resistance and the aspect ratio of a Hall device. • The method is applicable for graphene thin film Hall devices with length and width greater than 100 micrometers. The document is developed to complete the fabrication and measurement of devices using cost-effective processes and equipment. Due to the high cost and low cost-performance ratio of photolithography processes and equipment, this document does not utilize photolithography processes and equipment.
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Letzte Aktualisierung: 2025-11-17 (Zahl der Positionen: 2 243 994)
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