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ISO 13083:2015
Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and other purposes
Automatische name übersetzung:
Chemische Oberflächenanalyse - Rastersondenmikroskopie - Standards über die Definition und Kalibrierung der räumlichen Auflösung der elektrischen Rastersondenmikroskope ( ESPMs ) wie SSRM und SCM für 2D - Dotierungs Bildgebung und andere Zwecke
NORM herausgegeben am 20.8.2015
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ISO 13083:2015
Ausgabedatum normen: 20.8.2015
SKU: NS-613938
Zahl der Seiten: 14
Gewicht ca.: 42 g (0.09 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen ISO
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Die Annotation des Normtextes ISO 13083:2015 :
Description / Abstract: ISO 13083:2015 describes a method for measuring the spatial (lateral) resolution of scanning capacitance microscopes (SCMs) or scanning spreading resistance microscopes (SSRMs), which are widely used in imaging the distribution of carriers and other electrical properties in semiconductor devices. The method involves the use of a sharp-edged artefact.
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