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ISO 16700:2016-ed.2.0
Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image magnification
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NORM herausgegeben am 18.7.2016
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ISO 16700:2016-ed.2.0
Ausgabedatum normen: 18.7.2016
SKU: NS-645558
Zahl der Seiten: 18
Gewicht ca.: 54 g (0.12 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen ISO
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Die Annotation des Normtextes ISO 16700:2016-ed.2.0 :
Description / Abstract: ISO 16700:2016 specifies a method for calibrating the magnification of images generated by a scanning electron microscope (SEM) using an appropriate reference material. This method is limited to magnifications determined by the available size range of structures in the calibrating reference material. It does not apply to the dedicated critical dimension measurement SEM.
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