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ISO 18114:2021-ed.2.0
Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
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NORM herausgegeben am 11.5.2021
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ISO 18114:2021-ed.2.0
Ausgabedatum normen: 11.5.2021
SKU: NS-1024260
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen ISO
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Die Annotation des Normtextes ISO 18114:2021-ed.2.0 :
Description / Abstract: This document specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials. The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.
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