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Surface chemical analysis — Secondary-ion mass spectrometry — Determination of relative sensitivity factors from ion-implanted reference materials
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NORM herausgegeben am 11.5.2021
Bezeichnung normen: ISO 18114:2021-ed.2.0
Ausgabedatum normen: 11.5.2021
SKU: NS-1024260
Zahl der Seiten: 4
Gewicht ca.: 12 g (0.03 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen ISO
Description / Abstract: This document specifies a method of determining relative sensitivity factors (RSFs) for secondary-ion mass spectrometry (SIMS) from ion-implanted reference materials. The method is applicable to specimens in which the matrix is of uniform chemical composition, and in which the peak concentration of the implanted species does not exceed one atomic percent.
Letzte Aktualisierung: 2026-07-12 (Zahl der Positionen: 2 286 472)
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