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ISO 19383:2026
Atomic layer deposition — Chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors
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NORM herausgegeben am 1.6.2026
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ISO 19383:2026
Ausgabedatum normen: 1.6.2026
SKU: NS-1271449
Zahl der Seiten: 13
Gewicht ca.: 39 g (0.09 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen ISO
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Die Annotation des Normtextes ISO 19383:2026 :
Description / Abstract: This document defines the chemical characteristics and related process specifications of atomic layer deposition precursors, including assay content, metal purity and anion content specification.
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