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ISO 22278:2020
Fine ceramics (advanced ceramics, advanced technical ceramics) — Test method for crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using XRD method with parallel X-ray beam
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NORM herausgegeben am 24.8.2020
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ISO 22278:2020
Ausgabedatum normen: 24.8.2020
SKU: NS-1003866
Zahl der Seiten: 29
Gewicht ca.: 87 g (0.19 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen ISO
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Die Annotation des Normtextes ISO 22278:2020 :
Description / Abstract: This document specifies the test method for measuring the crystalline quality of single-crystal thin film (wafer) using the XRD method with parallel X-ray beam. This document is applicable to all of the single-crystal thin film (wafer) as bulk or epitaxial layer structure.
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