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Physical vapor deposition coatings — Magnetron sputtering deposition of TiAlSiN thin films — Specification
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NORM herausgegeben am 3.8.2026
Bezeichnung normen: ISO 25164:2026
Ausgabedatum normen: 3.8.2026
SKU: NS-1278772
Zahl der Seiten: 6
Gewicht ca.: 18 g (0.04 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen ISO
Description / Abstract: This document specifies the technical requirements for TiAlSiN thin films deposited by magnetron sputtering. This document is also applicable to the deposition of TiN, TiAlN or TiSiN thin films.
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Letzte Aktualisierung: 2026-08-06 (Zahl der Positionen: 2 291 512)
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