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ISO/TR 19319:2013-ed.2.0
Surface chemical analysis — Fundamental approaches to determination of lateral resolution and sharpness in beam-based methods
Automatische name übersetzung:
Chemische Oberflächenanalyse - Grund Ansätze zur Bestimmung der lateralen Auflösung und Schärfe in Strahl-basierte Methoden
NORM herausgegeben am 6.3.2013
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ISO/TR 19319:2013-ed.2.0
Ausgabedatum normen: 6.3.2013
SKU: NS-420810
Zahl der Seiten: 116
Gewicht ca.: 379 g (0.84 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen ISO
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Die Annotation des Normtextes ISO/TR 19319:2013-ed.2.0 :
Description / Abstract: ISO/TR 19319:2013 describes: functions and their relevance to lateral resolution: point spread function (PSF), line spread function (LSF), edge spread function (ESF), modulation transfer function (MTF) and contrast transfer function (CTF); experimental methods for the determination of lateral resolution and parameters related to lateral resolution: imaging of a narrow stripe, sharp edge and square-wave gratings; physical factors affecting lateral resolution, analysis area and sample area viewed by the analyser in Auger electron spectroscopy and X-ray photoelectron spectroscopy.
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