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Microbeam analysis — Scanning electron microscopy — Qualification of the scanning electron microscope for quantitative measurements
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NORM herausgegeben am 12.3.2021
Bezeichnung normen: ISO/TS 21383:2021
Ausgabedatum normen: 12.3.2021
SKU: NS-1020039
Zahl der Seiten: 59
Gewicht ca.: 177 g (0.39 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen ISO
Description / Abstract: This document describes methods to qualify the scanning electron microscope with the digital imaging system for quantitative and qualitative SEM measurements by evaluating essential scanning electron microscope performance parameters to maintain the performance after installation of the instruments. The items and evaluating methods of the performance parameters are selected by users for their own purposes.
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Letzte Aktualisierung: 2026-06-16 (Zahl der Positionen: 2 283 261)
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