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Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Method for the measurement of mass resolution in SIMS
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NORM herausgegeben am 1.4.2022
Bezeichnung normen: ISO/TS 22933:2022
Ausgabedatum normen: 1.4.2022
SKU: NS-1052691
Zahl der Seiten: 15
Gewicht ca.: 45 g (0.10 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen ISO
Description / Abstract: This document specifies a method for measuring the mass resolution in SIMS, and how to compare the mass resolution between different instruments (e.g. TOF-SIMS, Magnetic SIMS, Quadrupole SIMS, Fourier Transform SIMS, etc.) by considering the peak shapes.
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Letzte Aktualisierung: 2026-06-11 (Zahl der Positionen: 2 281 927)
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