ČSN EN 62047-22 (358775)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 22: Electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates

Automatische name übersetzung:

Halbleiterbauelemente - Mikroelektrogeräte- Teil 22: Elektromechanische Reißtestverfahren für leitende Dünnschichten auf flexiblen Substraten. ( In Englisch, ist der Text Teil einer Kopie ).



NORM herausgegeben am 1.4.2015


Sprache
Realisierung
ZugänglichkeitAUF LAGER
Preis13.40 ohne MWS
13.40

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ČSN EN 62047-22
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 97101
Ausgabedatum normen: 1.4.2015
SKU: NS-583616
Zahl der Seiten: 24
Gewicht ca.: 72 g (0.16 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN

Die Annotation des Normtextes ČSN EN 62047-22 (358775):

Tato norma stanovuje metodu pro zkoušku tahem pro měření elektromechanických vlastností materiálů vodivých tenkovrstvých mikroelektromechanických systémů (MEMS), které jsou upevněny na nevodivé pružné substráty. Vodivé tenkovrstvé struktury na pružných substrátech jsou ve velké míře používány pro MEMS, spotřební výrobky a v oblasti pružné elektroniky. Elektrické chování vrstev na pružných substrátech je odlišné od vlastností samonosných vrstev a substrátů v důsledku mezivrstvového působení. Rozdílné kombinace pružných substrátů a tenkých vrstev mají často různé vlivy na výsledky zkoušek a na mezivrstvovou adhezi. Požadovaná tloušťka tenkých MEMS materiálů je 50krát menší než je tloušťka pružného substrátu, zatímco všechny ostatní rozměry jsou navzájem podobné

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