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DIN 32566:2007-12
Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring.
Automatische name übersetzung:
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Spezifikation eines Maskentragrings für die Röntgentiefenlithographie.
NORM herausgegeben am 1.12.2007
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: DIN 32566:2007-12
Ausgabedatum normen: 1.12.2007
SKU: NS-195653
Zahl der Seiten: 9
Gewicht ca.: 27 g (0.06 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
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Die Annotation des Normtextes DIN 32566:2007-12 :
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Spezifikation eines Maskentragrings für die Röntgentiefenlithographie.
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