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Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin film.
Automatische name übersetzung:
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.
NORM herausgegeben am 1.6.2011
Bezeichnung normen: E DIN EN 62047-17:2011-06
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.6.2011
SKU: NS-292592
Zahl der Seiten: 45
Gewicht ca.: 135 g (0.30 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm (Entwurf)
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.
Letzte Aktualisierung: 2024-04-19 (Zahl der Positionen: 2 860 954)
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