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E DIN EN 62047-17:2011-06 (Entwurf)
Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin film.
Automatische name übersetzung:
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.
NORM herausgegeben am 1.6.2011
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: E DIN EN 62047-17:2011-06
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.6.2011
SKU: NS-292592
Zahl der Seiten: 45
Gewicht ca.: 135 g (0.30 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm (Entwurf)
Kategorie: Technische Normen DIN
Die Annotation des Normtextes E DIN EN 62047-17:2011-06 :
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten.
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