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ÖNORM EN ISO 14644-10
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO 14644-10:2022)
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NORM herausgegeben am 15.10.2022
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ÖNORM EN ISO 14644-10
Ausgabedatum normen: 15.10.2022
SKU: NS-1088041
Zahl der Seiten: 40
Gewicht ca.: 120 g (0.26 Pfund)
Land: Österreichische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ÖNORM
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Die Annotation des Normtextes ÖNORM EN ISO 14644-10 :
Dieses Dokument legt geeignete Prüfverfahren zur Bestimmung der Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieses Dokument ist auf alle festen Oberflächen in Reinräumen und zugehörigen Reinraumbereichen anwendbar, wie z.B. Wände, Decken, Fußböden, Arbeitsflächen, Werkzeuge, Ausrüstungsgegenstände und Geräte.
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