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ÖNORM EN ISO 14644-3
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 3: Test methods (ISO 14644-3:2019, corrected version 2020-06)
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NORM herausgegeben am 1.8.2020
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ÖNORM EN ISO 14644-3
Ausgabedatum normen: 1.8.2020
SKU: NS-999802
Zahl der Seiten: 69
Gewicht ca.: 207 g (0.46 Pfund)
Land: Österreichische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ÖNORM
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Die Annotation des Normtextes ÖNORM EN ISO 14644-3 :
Dieses Dokument umfasst Prüfverfahren zur Unterstützung des Betriebs für Reinräume und reine Bereiche, im Hinblick auf die Erfüllung von Luftreinheitsklassifizierungen, weiteren Reinheitsattributen und zugehörigen geregelten Bedingungen. Es werden Leistungsprüfungen für zwei Arten von Reinräumen und reinen Bereichen festgelegt, solche mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung und solche mit turbulenter Mischströmung. Es werden drei Betriebszustände betrachtet: Bereitstellung, Leerlauf, Fertigung. Die Prüfverfahren, empfohlene Prüfgeräte und Prüfverfahren zur Bestimmung von Kenngrößen für die Leistung werden angegeben. An Stellen, an denen das Prüfverfahren durch die Art des Reinraums oder reinen Bereichs beeinflusst wird, werden alternative Verfahren vorgeschlagen. Für einige Prüfungen werden mehrere unterschiedliche Verfahren und Geräte empfohlen, so dass verschiedenen Nutzungsarten Rechnung getragen werden kann. Soweit zwischen Kunden und Lieferanten vereinbart, können alternative, nicht in diesem Dokument beschriebene Verfahren angewendet werden. Solche Verfahren liefern nicht zwingend gleichwertige Messungen. Dieses Dokument ist nicht auf die Messung von Produkten oder Prozessen in Reinräumen, reinen Bereichen oder SD-Modulen anwendbar.
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