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ÖNORM EN ISO 23216
Carbon based films - Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry (ISO 23216:2021)
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NORM herausgegeben am 15.2.2023
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ÖNORM EN ISO 23216
Ausgabedatum normen: 15.2.2023
SKU: NS-1103460
Zahl der Seiten: 14
Gewicht ca.: 42 g (0.09 Pfund)
Land: Österreichische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ÖNORM
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Die Annotation des Normtextes ÖNORM EN ISO 23216 :
Dieses Dokument legt die spektroskopische Ellipsometrie für die Bestimmung der optischen Eigenschaften (Brechungsindex n und Extinktionskoeffizient k) und die optische Klassifizierung verschiedener Typen von amorphen Kohlenstoffschichten innerhalb der n-k-Ebene fest. Es ist auf amorphe Kohlenstoffschichten anwendbar, die durch ionisiertes Verdampfen, Sputtern, Lichtbogenabscheidung, plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung, Heißdrahtverfahren und andere Verfahren abgeschieden wurden. Es ist nicht anwendbar für Kohlenstoffschichten, die mit Metallen oder Silizium verändert worden sind, für amorphe Kohlenstoffschichten, die einen Gradienten ihrer Zusammensetzung/Eigenschaft in der Schichtdicke aufweisen, und für Farben und Lacke.
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