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VDE 0113-33. Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment.
Automatische name übersetzung:
VDE 0113-33. Sicherheit von Maschinen - Elektrische Ausrüstung von Maschinen - Teil 33 : Anforderungen an die Halbleiterfertigungsausrüstung.
NORM herausgegeben am 1.11.2011
Bezeichnung normen: DIN EN 60204-33:2011-11
Ausgabedatum normen: 1.11.2011
SKU: NS-593704
Zahl der Seiten: 133
Gewicht ca.: 430 g (0.95 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
VDE 0113-33. Sicherheit von Maschinen - Elektrische Ausrüstungen von Maschinen - Teil 33: Anforderungen an Fertigungseinrichtungen für Halbleiter.
1.5.2011
1.3.2007
1.12.2003
UNGÜLTIG
1.8.2008
1.10.2008
UNGÜLTIG
1.4.2003
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Letzte Aktualisierung: 2025-08-03 (Zahl der Positionen: 2 211 667)
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