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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials.
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Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe.
NORM herausgegeben am 1.10.2012
Bezeichnung normen: DIN EN 62047-14:2012-10
Ausgabedatum normen: 1.10.2012
SKU: NS-239565
Zahl der Seiten: 20
Gewicht ca.: 60 g (0.13 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Semiconductor devices in generalElectromechanical components in general
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 14: Verfahren zur Ermittlung der Grenzformänderung metallischer Dünnschichtwerkstoffe.
1.2.2008
1.6.2011
1.12.2010
1.12.2010
UNGÜLTIG
1.5.2012
UNGÜLTIG
1.5.2014
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Letzte Aktualisierung: 2025-06-16 (Zahl der Positionen: 2 204 817)
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