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Ansicht IEC 62047-35-ed.1.0 22.11.2019
IEC 62047-35-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 35: Test method of electrical characteristics under bending deformation for flexible electro-mechanical devices
(Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microelectromecaniques - Partie 35 : Methode d’essai des caracteristiques electriques sous deformation par courbure de dispositifs electromecaniques souples)

Die Norm herausgegeben am 22.11.2019

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IEC 62047-36-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 36: Environmental and dielectric withstand test methods for MEMS piezoelectric thin films

Die Norm herausgegeben am 5.4.2019

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IEC 62047-37-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 37: Environmental test methods of MEMS piezoelectric thin films for sensor application
(Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microelectromecaniques - Partie 37: Methodes d’essai d’environnement des couches minces piezoelectriques MEMS pour les applications de type capteur)

Die Norm herausgegeben am 28.4.2020

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IEC 62047-38-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 38: Test method for adhesion strength of metal powder paste in MEMS interconnection

Die Norm herausgegeben am 23.6.2021

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Ansicht IEC 62047-4-ed.2.0 7.1.2026
IEC 62047-4-ed.2.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS

Die Norm herausgegeben am 7.1.2026

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Ansicht IEC 62047-4-ed.2.0-RLV 7.1.2026
IEC 62047-4-ed.2.0-RLV

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS

Die Norm herausgegeben am 7.1.2026

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Ansicht IEC 62047-40-ed.1.0 3.9.2021
IEC 62047-40-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 40:Test methods of micro-electromechanical inertial shock switch threshold

Die Norm herausgegeben am 3.9.2021

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Ansicht IEC 62047-41-ed.1.0 15.6.2021
IEC 62047-41-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 41: RF MEMS circulators and isolators
(Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microelectromecaniques - Partie 41: Circulateurs et isolateurs a MEMS RF)

Die Norm herausgegeben am 15.6.2021

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Ansicht IEC 62047-42-ed.1.0 16.9.2022
IEC 62047-42-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 42: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever

Die Norm herausgegeben am 16.9.2022

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Ansicht IEC 62047-43-ed.1.0 19.3.2024
IEC 62047-43-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 43: Test method of electrical characteristics after cyclic bending deformation for flexible micro-electromechanical devices

Die Norm herausgegeben am 19.3.2024

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