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Ansicht IEC 62047-44-ed.1.0 22.2.2024
IEC 62047-44-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 44: Test methods for dynamic performances of MEMS resonant electric-field-sensitive devices

Die Norm herausgegeben am 22.2.2024

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Ansicht IEC 62047-45-ed.1.0 20.3.2025
IEC 62047-45-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 45: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of impact resistance of nanostructures

Die Norm herausgegeben am 20.3.2025

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IEC 62047-46-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 46: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of tensile strength of nanoscale thickness membrane

Die Norm herausgegeben am 23.4.2025

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IEC 62047-47-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 47: Silicon based MEMS fabrication technology - Measurement method of bending strength of microstructures

Die Norm herausgegeben am 23.8.2024

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IEC 62047-48-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 48: Test method for determining solution concentration by optical absorption using MEMS fluidic device

Die Norm herausgegeben am 7.6.2024

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Ansicht IEC 62047-49-ed.1.0 25.11.2025
IEC 62047-49-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 49: Temperature and humidity test methods for piezoelectric MEMS cantilevers

Die Norm herausgegeben am 25.11.2025

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Ansicht IEC 62047-5-ed.1.0 13.7.2011
IEC 62047-5-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches
(Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microelectromecaniques - Partie 5: Commutateurs MEMS-RF)

Die Norm herausgegeben am 13.7.2011

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Ansicht IEC 62047-5-ed.1.0/Cor.1 8.3.2012
IEC 62047-5-ed.1.0/Cor.1 Korrektur

Corrigendum 1 - Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches
(Corrigendum 1 - Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microelectromecaniques - Partie 5: Commutateurs MEMS-RF)

Korrektur herausgegeben am 8.3.2012

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Ansicht IEC 62047-50-ed.1.0 29.4.2025
IEC 62047-50-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 50: MEMS capacitive microphones

Die Norm herausgegeben am 29.4.2025

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IEC 62047-52-ed.1.0

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 52: Biaxial tensile testing method for stretchable MEMS

Die Norm herausgegeben am 4.3.2026

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Letzte Aktualisierung: 2026-09-29 (Zahl der Positionen: 2 303 433)
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