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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 53: MEMS electrothermal transfer device
Die Norm herausgegeben am 2.10.2025
Ausgewählte Ausführung:
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials
(Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microelectromecaniques - Partie 6: Methodes d´essais de fatigue axiale des materiaux en couche mince)
Die Norm herausgegeben am 7.4.2009
Ausgewählte Ausführung:
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 7: MEMS BAW filter and duplexer for radio frequency control and selection
(Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microelectromecaniques - Partie 7: Filtre et duplexeur BAW MEMS pour la commande et le choix des frequences radioelectriques)
Die Norm herausgegeben am 16.6.2011
Ausgewählte Ausführung:
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films
(Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microelectromecaniques - Partie 8: Methode d´essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des proprietes de traction des couches minces)
Die Norm herausgegeben am 14.3.2011
Ausgewählte Ausführung:
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 9: Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS
(Dispositifs a semiconducteurs - Dispositif microelectromecaniques - Partie 9: Mesure de la resistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS)
Die Norm herausgegeben am 13.7.2011
Ausgewählte Ausführung:
Corrigendum 1 - Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 9: Wafer to wafer bonding strength measurement for MEMS
(Corrigendum 1 - Dispositifs a semiconducteurs - Dispositifs microelectromecaniques - Partie 9: Mesure de la resistance de collage de deux plaquettes pour les MEMS)
Korrektur herausgegeben am 8.3.2012
Ausgewählte Ausführung:Optical fibres - Reliability - Power law theory
Die Norm herausgegeben am 22.1.2014
Ausgewählte Ausführung:Electricity metering - Data exchange for meter reading, tariff and load control - Glossary of terms - Part 1: Terms related to data exchange with metering equipment using DLMS/COSEM
Die Norm herausgegeben am 12.1.2004
Ausgewählte Ausführung:Corrigendum 1 - Electricity metering - Data exchange for meter reading, tariff and load control - Glossary of terms - Part 1: Terms related to data exchange with metering equipment using DLMS/COSEM
Korrektur herausgegeben am 13.6.2005
Ausgewählte Ausführung:Electricity metering - Glossary of terms
Die Norm herausgegeben am 23.4.1999
Ausgewählte Ausführung:Letzte Aktualisierung: 2026-09-29 (Zahl der Positionen: 2 303 433)
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