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Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials.
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Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik.
NORM herausgegeben am 1.4.2015
Bezeichnung normen: DIN EN 62047-21:2015-04
Ausgabedatum normen: 1.4.2015
SKU: NS-583027
Zahl der Seiten: 16
Gewicht ca.: 48 g (0.11 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Semiconductor devices in generalElectromechanical components in general
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosystemtechnik.
1.4.2014
1.2.2007
1.4.2015
1.4.2015
UNGÜLTIG
1.5.2014
UNGÜLTIG
1.5.2014
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Letzte Aktualisierung: 2024-03-25 (Zahl der Positionen: 2 885 931)
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